미세한 비틀림까지 실시간 추적, 유연전자소자 대량생산 길 열었다
미세한 비틀림까지 실시간 추적, 유연전자소자 대량생산 길 열었다 - 기계연, 유연기판을 연속으로 패터닝할 수 있는 ‘롤투롤 디지털 마스크리스 리소그래피 시스템’ 개발 - - 기판 변형과 이송 오차를 실시간으로 보정해 10㎛ 이하 고해상도 패터닝 구현 - - 노광 마스크 없이 다양한 패턴 구현 가능… 유연전자소자 대량생산 기
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미세한 비틀림까지 실시간 추적, 유연전자소자 대량생산 길 열었다 - 기계연, 유연기판을 연속으로 패터닝할 수 있는 ‘롤투롤 디지털 마스크리스 리소그래피 시스템’ 개발 - - 기판 변형과 이송 오차를 실시간으로 보정해 10㎛ 이하 고해상도 패터닝 구현 - - 노광 마스크 없이 다양한 패턴 구현 가능… 유연전자소자 대량생산 기
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